CFRP组件

SCHNEEBERGER定位系统中的CFRP(碳纤维增强复合材料)组件

SCHNEEBERGER针对晶片生产开发了定位系统。为了满足最苛刻的客户需求，SCHNEEBERGER开发出了一系列CFRP组件解决方案。其中一个例子就是新的双台架系统。该系统的亮点在于车轴设计和复合材料的使用。相对于先前的系统，其定位速度加倍。

定位系统中的CFRP(碳纤维增强复合材料)组件

CFRP在高动态精密轴中的使用

在洁净室中，通过硅晶片（晶圆）上的光刻层结构制造芯片。
为了确保质量，在制造过程中定期进行严格的尺寸检验（晶片计量）。测量精度可达到<20nm。
晶片可在测量仪器下，借助定位系统来移动。定位系统的开发和生产是系统业务部的任务。