真空解决方案

EUV，除气、泵送时间、稳定性和磁扰是在真空系统布置过程中考虑的主要参数。此外，针对您要求严苛的环境和性能，提供与完美的运动解决方案相关的所有其他关键参数。

我们的系统专门开发而成，可通过集成从直线电机（包括特定屏蔽）至压力驱动装置和特殊线缆的特定组件，在 10^-9 mbar 的分压条件下运行。

所有相关的机械部件（铝和/或 SUS）均为内部生产，以保持清洁度并完美控制除气过程。

所有的真空系统都在我们的洁净室内进行装配、测试和包装，经特别设计可满足您的生产节奏需求。

5 轴（包括倾斜）系统用于电子束检测

楔形设计的 Z 轴用于电子束应用

XY 系统用于平板印刷和度量衡 (EUV)

XYT 度量衡和电子束检测

带有固定电机的 XY 系统（真空室以外）

Y（机架）X 阶段用于光刻工具

SEM XYT 运动平台